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晶体生长过程的德国DT红外测温仪应用

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简述

 

太阳能行业的晶圆生产需要用到单晶硅或多晶硅,是在所谓的晶体生长炉,即单晶硅炉或多晶硅炉拉晶生长的。

 

这种从炉内生长的单晶或多晶硅,是要从结晶炉(即单晶硅炉或多晶硅炉)熔液慢慢冷却生长出来的。测量这种过程的结晶熔液的温度很重要,同样控制这个结晶过程的加热元件的温度也很重要。这两种温度必须要协调好,才能确保好的晶体生长过程。

 

太阳能单晶炉可使用的红外测温仪有10、40、44、54、56这些系列,都可以用来测量晶体生长的熔化温度,性价比较高的40、42、44系列型号有ET42N、EH42N或 ET40N、EH40N、ET44N、EH44N,均为短波红外测温仪,测温范围800 ~ 1800°C 或 800~2500 °C。

 

多晶硅炉也可使用双色红外测温仪ETR44N、ETR54N、ETR56N、ETR10N。其中44、54、56、10系列可以通过总线连接到现有控制系统。

 

在测量空间有限时,推荐使用光纤电缆和小光纤探头的光纤红外测温仪;低价格型号有ETF40N、EHF40N、ETF44N、EHF44N ,最小的光纤探头的光圈为12mm,测温范围可以选600~1800°C。另外,可以选择90°镜像附件或弯曲的光纤电缆。测量光斑仅仅几个毫米。

 

不管是哪一种测量任务,都可以选择好合适的红外测温仪参数,获得的效果,观测和控制获得的晶体生长。

 

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